酸化セリウム研磨粉・研磨液
光学ガラス、石英ウェハ、ITO導電ガラス、フォトマスク、フィルター、SOS基板、ガラスセラミックス等の精密研磨。
酸化セリウムを中心に、酸化ジルコニウム、アルミナ、シリカ研磨液、研磨パッドまで。光学ガラス、TFT-LCD/OLED、フォトマスク、半導体、サファイア、SiC、精密金属向けの技術仕様を一つのページに整理しました。
原カタログに収録された製品群を日本語化し、材料・粒径・組成・適用分野を比較しやすい形に再構成しています。
光学ガラス、石英ウェハ、ITO導電ガラス、フォトマスク、フィルター、SOS基板、ガラスセラミックス等の精密研磨。
フィルター、FCD1/FK51 等の軟質ガラス、青色ガラスフィルターの精密研磨。超硬材料加工の補助にも。
2.5D/3D 携帯端末カバーおよびフレキシブルディスプレイの曲面研磨。
赤外材料、半導体チップ、樹脂レンズ、サファイア基板、精密金属部品の研削・研磨。
サファイア、精密金属、セラミック基板、半導体チップ、結晶の研磨。
ガラス精密研磨用ダンピングクロス、光学ガラス用PUパッド、Si/サファイア向けパッド、溝加工・熱圧加工。
光学、眼鏡、フォトニクス、液晶基板、ディスク、プリズムなどの冷間加工向け。原資料では分散性、低付着、品質安定性、豊富な粒度選択を特長として説明しています。
| モデル | TREO (%) | CeO/TREO (%) | F (%) | D50 (μm) | 主用途 |
|---|---|---|---|---|---|
| E/A-05 | 92 | 80 | 2–3 | 0.4–0.6 | 石英、微晶ガラス、BK7、溶融シリカの精密研磨 |
| E/A-08 | 92 | 80 | 2–3 | 0.6–0.9 | HDおよび各種光学部品の最終研磨 |
| E/A-10 | 92 | 80 | 2–3 | 1.1–1.4 | TFT、HD、各種軟質ガラスの一次研磨。原資料では E303、TE-98 相当効果と記載 |
| E/A-20 | 90 | 75–80 | 3–5 | 1.8–2.1 | 汎用・高速研磨。中精度部品、平面/球面の硬質材料 |
| E/A-30 | 90 | 75–80 | 3–5 | 2.8–3.3 | 高セリウム量・コスト性能型。携帯端末カバー、石英ガラス等 |
E-05/E-08/E-30 は赤色希土類研磨粉、A-05/A-08/A-30 は白色希土類研磨粉。粒度分布は対応する 05/08/30 グレードで同一値が掲載されています。
| TREO | La₂O₃ | CeO₂ | Pr₆O₁₁ | F⁻ | その他 |
|---|---|---|---|---|---|
| 94.48% | 20.65% | 79% | 2% | 3.09% | <0.01% |
| TREO | La₂O₃ | CeO₂ | F⁻ | その他 |
|---|---|---|---|---|
| 94.48% | 20% | 80% | 3.09% | <0.01% |
用途:青色ガラスフィルター、摩耗度 280–410 の軟質ガラス、厚さ 0.3 mm 未満の超薄ガラス。
| 粒度指標 | μm |
|---|---|
| D03 | 0.071 |
| D06 | 0.113 |
| D10 | 0.161 |
| D16 | 0.227 |
| D25 | 0.320 |
| D50 | 0.591 |
| D75 | 0.975 |
| D90 | 1.422 |
| D97 | 1.946 |
| D100 | 3.422 |
| 粒径 μm | 含有率 % |
|---|---|
| 0.500 | 42.08 |
| 1.000 | 76.17 |
| 3.000 | 99.87 |
| 5.000 | 100.00 |
| 10.000 | 100.00 |
| 15.000 | 100.00 |
| 20.000 | 100.00 |
| 30.000 | 100.00 |
| 50.000 | 100.00 |
| 100.000 | 100.00 |
| TREO | La₂O₃ | CeO₂ | Pr₆O₁₁ | F⁻ | その他 |
|---|---|---|---|---|---|
| 94.48% | 20.65% | 79% | 2% | 3.09% | <0.01% |
| TREO | La₂O₃ | CeO₂ | F⁻ | その他 |
|---|---|---|---|---|
| 94.48% | 20.65% | 79% | 3.09% | <0.01% |
E-08用途:TFT-LCD液晶ガラスの精密研磨、OLEDガラスの粗研磨、フォトマスクガラスの精密研磨、摩耗度200–350の光学ガラス。
A-08用途:青色ガラスフィルター、摩耗度200–350の軟質ガラス、0.3mm未満の超薄ガラス。特に FK、ZF、ZPK 等で微細キズ/粉点問題への対応として原資料に記載。
| 粒度指標 | μm |
|---|---|
| D03 | 0.087 |
| D06 | 0.140 |
| D10 | 0.202 |
| D16 | 0.288 |
| D25 | 0.412 |
| D50 | 0.781 |
| D75 | 1.307 |
| D84(原資料表記) | 1.620 |
| D97 | 2.680 |
| D100 | 4.894 |
| 粒径 μm | 含有率 % |
|---|---|
| 0.500 | 31.32 |
| 1.000 | 62.02 |
| 3.000 | 98.26 |
| 5.000 | 100.00 |
| 10.000 | 100.00 |
| 15.000 | 100.00 |
| 20.000 | 100.00 |
| 30.000 | 100.00 |
| 50.000 | 100.00 |
| 100.000 | 100.00 |
| TREO | La₂O₃ | CeO₂ | Pr₆O₁₁ | F⁻ | その他 |
|---|---|---|---|---|---|
| 94.48% | 20.65% | 79% | 2% | 3.09% | <0.01% |
| TREO | La₂O₃ | CeO₂ | F⁻ | その他 |
|---|---|---|---|---|
| 94.48% | 20% | 80% | 3.09% | <0.01% |
用途:LaK 系列、B270、および摩耗度80未満のガラス材など、比較的硬い光学材料の研削。
| 粒度指標 | μm |
|---|---|
| D03 | 0.647 |
| D06 | 0.903 |
| D10 | 1.173 |
| D16 | 1.509 |
| D25 | 1.945 |
| D50 | 3.064 |
| D75 | 4.439 |
| D90 | 5.907 |
| D97 | 7.504 |
| D100 | 11.41 |
| 粒径 μm | 含有率 % |
|---|---|
| 0.500 | 1.69 |
| 1.000 | 7.34 |
| 3.000 | 48.57 |
| 5.000 | 82.14 |
| 10.000 | 99.77 |
| 15.000 | 100.00 |
| 20.000 | 100.00 |
| 30.000 | 100.00 |
| 50.000 | 100.00 |
| 100.000 | 100.00 |
| モデル | TREO (%) | 主技術パラメータ | F (%) | D50 (μm) | 用途 |
|---|---|---|---|---|---|
| M-05 | 95 | 基体(Matrix) | 1–2 | 0.5–0.7 | 酸化セリウム研磨液の製造用 |
| M-10 | 95 | 基体(Matrix) | 1–2 | 0.8–1.2 | 携帯端末カバーの研削・研磨 |
| M-20 | 95 | 基体(Matrix) | 1–2 | 1.8–2.1 | タッチパネル表面の研磨 |
| M-30 | 95 | 基体(Matrix) | 1–2 | 2.8–3.5 | ホットフィックス・ラインストーン、人工結晶等の研磨 |
推奨濃度:約80–120 g/L、研磨温度20–30℃、包装20 kg/25 kg。原資料には複数の日本製/海外製パッド型番が適合例として記載されています。
原資料では、良質な研磨粉を原料とし、湿式微細濾過による粒径管理と化学研磨助剤を組み合わせ、高速研磨、表面精度、低マイクロスクラッチを狙った安定型研磨材として説明されています。
| 型式 | 外観 | D50 (μm) | 固形分 | pH | 用途 |
|---|---|---|---|---|---|
| M-2104 | 白色 | 0.3–0.4 | 20–22% | 9.5–10 | 青色ガラス |
| M-0340 | 白色 | 0.4–0.6 | 40–45% | 7–8 | 結晶 |
| AZ-03 | 白色 | 0.2–0.3 | 24–26% | 10.5–11 | 半導体チップ(Si、SiC) |
| AZ-07 | 白色 | 0.5–0.7 | 24–26% | 9.0–9.5 | フレキシブルディスプレイ |
| AZ-10 | 白色 | 0.8–1.0 | 50–55% | 9.0–9.5 | 3D スクリーン |
原資料の濃縮液は約400 g/L。使用前に十分撹拌し、要求に応じて希釈。対応パッド例:ポリウレタン、黒色研磨パッド、ピッチ(アスファルト)、フェルト/ブランケット、合成皮革。包装:20 kg/バレル。
軟質ガラスや精密光学の仕上げ向け。原資料では中程度の硬度、狭い粒度、低スクラッチ性を重視した粉体・懸濁液として掲載されています。
| モデル | ZrO₂ % | SiO₂ < | Fe₂O₃ < | TiO₂ < | Na₂O < | D50 (μm) | 比表面積 m²/g | 強熱減量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Z-30 | 99.5 | 0.02 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 2.5–3.2 | 2–6 | 0.5 |
| Z-20 | 99.5 | 0.02 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 1.6–2.2 | 2–6 | 0.5 |
| Z-10 | 99.5 | 0.02 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 1.1–1.5 | 2–6 | 0.5 |
| Z-06 | 99.5 | 0.02 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 0.6–0.8 | 2–6 | 0.5 |
| Z-03 | 99.5 | 0.02 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 0.4–0.6 | 2–6 | 0.5 |
用途:軟質レンズ、カメラレンズ、精密光学ガラス、軟質ガラス結晶、赤外フィルター、BK-7最終研磨、セラミックス、シリコンウェハ等。原資料では熱濃硫酸、HF、H₃PO₄を除く酸性溶液およびアルカリ溶液への安定性を記載。
輸入ジルコニア研磨粉と助剤を用い、粒径と粒子形状を制御した懸濁液として掲載。摩耗度300以上の軟質レンズ加工に適し、毛細キズ、曇り・不透明感、フロッグスキン状欠陥等の改善を目的としています。
| モデル | 外観 | pH | 固形分 | 粒径 | 組成 | 添加剤 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MF2000 | 白色懸濁液 | 5.5–6.5 | 25±0.5% | 1.1–1.4 μm | ZrOCO₃ + ZrO₂ | あり |
| MF-818 | 白色懸濁液 | 5.5–6.5 | 20±0.5% | 0.6–0.8 μm | ZrO₂ + | あり |
高純度・狭粒度分布のアルミナ系。赤外材料、半導体、精密合金、微小ベアリング、光学金型、レーザー結晶、天然石・人工宝石など広範な用途が原資料に掲載されています。
| モデル | 純度 % | 結晶 | モース硬度 | pH | Na₂O < | 粒径 | 比表面積 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AI-03 | 99.98 | α | 9 | 7.5–8.0 | 0.02 | 0.3 | 15 |
| AI-06 | 99.98 | α | 9 | 7.5–8.0 | 0.02 | 0.6 | 12 |
| AI-10 | 99.75 | α | 9 | 8.0–9.0 | 0.02 | 1.0 | 9 |
| AI-20 | 99.75 | α | 9 | 8.0–9.0 | 0.02 | 2.0 | 7 |
| AI-30 | 99.75 | α | 9 | 8.0–9.0 | 0.02 | 3.0 | 3 |
微細粒子、凝集が少ない、狭い粒度分布、高純度。
凝集起因のスクラッチや不要不純物の影響を低減し、広い粒度分布によるキズを減らす方向性。
Ge、ZnS、ZnSeなどの赤外材料、W-Al-Cu系精密合金、IC中間層薄膜、精密ボール、光学鋼金型、電子光学、レーザー結晶、天然石・人工宝石。
主成分をアルミナとする複合研磨液。樹脂レンズ、金属、携帯端末レンズなどに適用し、砥粒比率と硬度の組み合わせにより高い表面光沢を狙う製品として掲載。
| 型式 | pH | D50 (μm) | 研磨効率(原資料表記) | 表面精度(原資料表記) | 用途 |
|---|---|---|---|---|---|
| AL-1025 | 3.5 | 1.2–1.5 | 25±0.5% | 24 | 樹脂眼鏡レンズの精密研磨 |
| AL-0225 | 11–12 | 0.2–0.3 | 20±0.5% | 0.8 | サファイア基板、硬質セラミックス等 |
アルカリ性シリカ分散液として掲載され、精密金属、シリコン、サファイア、各種酸化物結晶などに使用。モデルごとに SiO₂ 濃度、pH、粒径が異なります。
| モデル | SiO₂ | Na⁺+K ppm | pH (1%,25℃) | 平均粒径 nm | 比重 g/cm³ | 粘度 cp | 色 | 用途 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| G-01 | 10±0.5% | ≤40 | 2–4 | 8–10 | 1.07–1.10 | ≤4 | 半透明ブルー | 光学ガラス精密研磨 |
| G-03 | 30±0.5% | ≤100 | 8.5–9.5 | 20–40 | 1.19–1.21 | ≤7 | 半透明ブルー | 半導体精密研磨 |
| G-06 | 30±0.5% | ≤100 | 9–10 | 50–70 | 1.19–1.21 | ≤7 | 乳白 | サファイア精密研磨 |
| G-08 | 40±0.5% | ≤100 | 9.5–10.5 | 70–90 | 1.27–1.30 | ≤7 | 乳白 | サファイア研磨 |
| G-10 | 40±0.5% | ≤100 | 10–11 | 90–120 | 1.27–1.30 | ≤7 | 乳白 | 精密金属 |
研磨材だけでなく、パッド加工、粘着構造、溝加工、PSA 背面粘着など、研磨プロセス周辺仕様も原資料から整理しています。
MF-3850:ウレタン板用接着タイプ。
#442:総厚100 μm、基材25 μm、耐水性。
#5605HG:総厚108 μm、基材23 μm、定盤側弱粘着/板側強粘着。
#8365:一般型。
RD-7020:圧着型。
#5605FW:接着部の高平面度、薄板向け。
#5686:総厚138 μm、基材23 μm、HOT MELT 80 μm。
加工サンプル:42S(熱圧)、3S(熱圧)、亀甲模様(熱圧)、20PX3(1)(溝加工)、20PX3(2)(溝加工)、打抜き/穴開け。
| 製品 | 硬度 | 厚さ | 密度 | 孔径 | 最大サイズ | 用途 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MGR-5541 | 58 | 1.49 | 0.34 | 65 | 1380 | Si、GaN/Al₂O₃、SiC、光学、LCD、フォトマスク、ガラスHDDの精密研磨。青色ガラスの粗研磨・精密研磨 |
| MSP-5402 | 67 | 0.95 | 0.37 | 65 | 1380 | GaN/Al₂O₃の粗研磨、光学精密研磨、青色ガラスの粗研磨・精密研磨 |
| MOF-5416 | 67 | 0.95 | 0.35 | 25 | 1380 | 液晶ガラスの精密研磨、フォトマスクの粗研磨・精密研磨 |
| MAR-5301 | 81 | 0.77 | 0.50 | 40 | 1380 | SiC基板の精密研磨、サファイアと青色ガラスの粗研磨・精密研磨 |
特殊発泡材料にナノレベル砥粒を配合し、ガラスの高い除去率と低スクラッチを狙うパッドとして説明。特殊溝によるスラリー流動性、微細孔によるスラリー保持・除去速度向上が記載されています。
| モデル | 密度 | 厚さ | 硬度 | 用途 |
|---|---|---|---|---|
| MOF-5412 | 0.35 | 2 mm | 75–85 | タッチスクリーン、TFT 薄化 |
| MOF-5413 | 0.45 | 3 mm | 75–85 | タッチスクリーン、TFT 薄化 |
原資料では日本 Nakada 製 PP137 として、光学グレードガラスおよび特殊結晶の研磨に使用し、ナノ酸化セリウムを充填。ポリウレタンパッドの高除去率を維持しながら表面精度を高める狙い、低スクラッチ、特殊溝、高除去率を記載。検査基準表記:JIS L1021、K6505。厚さ 1.0–3.0 mm、密度 0.4±0.05 g/cm³、硬度 Shore A 75±5.0。
原資料では日本 Kougen Tsusho 系不織布パッドとして、サファイア・SiC 等の超硬材料向け。SUB600/SUB800 と比較し、同条件で1.1–1.5倍の速度と記載されています。
| モデル | 硬度 A | 厚さ mm | 圧縮率 % | 圧縮弾性率 | 速度 μm/h | 用途 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| HM-DAE-3 | 90 | 1.25 / 1.5 | 5.5 | 78.6 | 6.08 | サファイア、SiC |
| HM-DAE-4A | 92 | 1.25 / 1.5 | 5.4 | 77 | 5.07 | サファイア、SiC |
| HM-DAE-4B | 91 | 1.25 / 1.5 | 5.2 | 77.1 | 5.19 | サファイア、SiC |
| HM-DAE-4C | 87 | 1.25 / 1.5 | 5.4 | 71.3 | 5.53 | サファイア、SiC |
| HM-DAE-5 | 87 | 1.25 / 1.5 | 5.4 | 71.3 | 5.96 | サファイア、SiC |
| HM-DAE-6 | 87 | 1.25 / 1.5 | 5.4 | 71.3 | 4.93 | サファイア、SiC |
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